1、檢查時，應將旋片真空泵隔離后再進行檢查。
2、先隔離閥門到旋片真空泵這段系統各可疑部位，閥門，法蘭，管道焊縫轉彎處并作細致的檢漏工作。
3、通常用真空計法，即用毛筆蘸取酒精，丙酮等有機溶劑逐一涂抹以上可疑部位和旋片真空泵的進氣口接縫等處，同時看真空計或輝光顏色的變化。當發現真空計抖動或紫色輝光變乳白色時，可判定被涂到的部位漏氣。
4、在漏隙較小時，這種方法就難以察覺了，應采用更靈敏的方法檢漏。
5、如有漏氣處，則可修補下。
6、如果是旋片真空泵本身有問題，則應該把旋片真空泵從真空系統上拆下檢修。
